马氏体时效钢表面.pdf

哈尔滨工业大学硕士学位论文

摘要

马氏体时效钢是一种常见的商业用钢，被广泛应用于需要高强度、硬度和

耐磨性以及中等耐腐蚀性的工业应用中。但是，由于马氏体时效钢在摩擦条件

下表现出的高摩擦系数和高磨损率，以及在腐蚀条件下较差的耐腐蚀性，导致

其寿命大大缩短，引起了巨大的浪费和安全隐患。而DLC薄膜作为一种性能优

异的表面防护材料，可以给予基体材料出色的摩擦磨损性能和耐腐蚀性能，已

经得到了表面工程领域的广泛认可。但是，DLC薄膜巨大的内应力限制了其厚

度的增加，超厚DLC薄膜的制备在目前仍然具有较大的难度，除此之外，目前

常用的制备DLC薄膜的方法，大部分沉积速率都比较低，不利于厚膜的沉积。

笼形空心阴极放电技术沉积DLC薄膜的速率很高，非常适合于超厚DLC

薄膜的制备。但是，由于工件被限制在笼网内，使得DLC薄膜与金属打底层一

体化制备的难度较大，而气源打底层的效果通常又比较差，不能满足超厚薄膜

对结合力的要求。所以，本文通过复合高功率磁控溅射技术与笼形空心阴极放

电技术，实现了一体化快速制备Cr/CrC/DLC薄膜。

为了优化工艺参数，首先，研究了附加偏压的大小对多层DLC薄膜结构以

及性能的影响，旨在优化膜层结构，降低薄膜的内应力，从而获得综合性能优

良的DLC薄膜。然后，研究了CrC过渡层组分变化对多层DLC薄膜结构以及

性能的影响，目的是为了减小马氏体时效钢与DLC薄膜之间的物相错配，从而

减小膜基界面处的应力，避免应力集中现象的发生，获得高结合力的DLC薄膜。

最后，在膜层结构优化后，经过10h的沉积，成功制备了厚度达到43.67μm，

结合力达到70N的超厚DLC薄膜。

关键词:笼形空心阴极放电；超厚DLC薄膜；偏压调控；Cr/CrC过渡层

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哈尔滨工业大学硕士学位论文

Abstract

Maragingsteelisacommoncommercialsteel,whichiswidelyusedinindustrial

applicationsrequiringhighstrength,hardnessandwearresistance,aswellasmedium

corrosionresistance.However,duetothehighfrictioncoefficientandhighwearrate

ofmaragingsteelunderfrictionconditions,aswellasthepoorcorrosionresistance

undercorrosionconditions,itsservicelifeisgreatlyshortened,causinghugewaste

andsafetyhazards.Asasurfaceprotectivematerialwithexcellentperformance,DLC

filmcangivethesubstratematerialexcellentfrictionandwearperformanceand

corrosionresistance,whichhasbeenwidelyrecognizedinthefieldofsurface

engineering.However,thehugeinternalstressofDLCfilmlimitstheincreaseofits

thickness.Thepreparationofultra-thickDLCfilmisstilldifficultatpresent.In

addition,mostofthecommonlyusedmethodsforpreparingDLC