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微细电铸技术的基础探究与前沿洞察

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微纳制造技术已成为推动众多领域进步的关键力量。微细电铸作为微纳制造领域的核心技术之一，正日益受到广泛关注。它基于金属电沉积原理，通过在阴极表面精确控制金属离子的沉积过程，能够制造出具有高精度、复杂形状和微小尺寸的金属微结构与器件，在现代制造业中占据着举足轻重的地位。

从历史发展来看，电铸技术起源于19世纪，早期主要应用于简单的复制和装饰领域。随着科技的不断进步，尤其是在半导体技术和微机电系统（MEMS）兴起之后，微细电铸技术应运而生。它继承了传统电铸技术的基本原理，但在精度、尺寸控制和复杂结构制造