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新型第三代半导体技术现状及未来趋势分析
目录
内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2第三代半导体概念界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3国内外研究现状概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.4本文研究内容与结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
新型第三代半导体材料基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.1材料结构与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
2.1.1化学成分与晶体结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.1.2电气性能优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
2.1.3热学与力学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.2主要材料类型介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.2.1碳化硅材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.2.2氮化镓材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.2.3氧化镓材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
2.2.4其他新型材料探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
新型第三代半导体器件技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.1器件结构设计与制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
3.1.1外延生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.1.2衬底材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
3.1.3器件制造流程优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.2典型器件类型分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
3.2.1功率器件应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
3.2.2微波器件应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
3.2.3光电器件应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
新型第三代半导体技术应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
4.1电力电子领域应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
4.1.1电动汽车与充电桩．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
4.1.2高压输电与智能电网．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
4.1.3工业电源与变频器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
4.2射频与微波领域应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
4.2.15G/6G通信设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
4.2.2雷达系统与卫星通信．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.2.3电子对抗与情报收集．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
4.3其他新兴应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57
4.3.1光伏发电系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
4.3.2红外探测与成像．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
4.3.3纳米电子学探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
新型第三代半导体技术发展挑战．．．．
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