激光空化微纳制造机理：数值模拟与实验验证的深度剖析.docx

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2025-06-10 发布于上海
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激光空化微纳制造机理：数值模拟与实验验证的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业持续追求高精度、高效率以及微小化的发展趋势下，微纳制造技术已然成为推动众多领域进步的关键力量。激光空化微纳制造作为其中极具潜力的新兴技术，正逐渐崭露头角，在多个领域展现出独特优势与广泛应用前景。

随着电子设备不断向小型化、高性能化方向发展，集成电路的尺寸不断缩小，对制造精度提出了前所未有的挑战。传统制造工艺在面对纳米级别的加工需求时，逐渐暴露出精度不足、加工灵活性受限等问题。而激光空化微纳制造技术凭借其能够在微观尺度上实现精确加工的特性，为解决这些难题提供了新的思路与方法。在芯片制造过程中，利用激