TZOIA-微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试验方法编制说明.pdf

《微机电系统（MEMS）技术金属薄

膜机械性能的仪器化纳米压入试验

方法

Micro-electromechanicalsystems

technology–Instrumented

nanoindentationtestmethodfor

measuringmechanicalproperties

ofmetalthinfilms》

标准编制说明

《微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入

试验方法》标准起草组

2024年3月12日

1、标准范围。

范围：本文件适用于常温环境条件下附着在固体硬基底表面的金属薄膜，压入方向

为垂直于试样表面的方向，压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展到几微米。

本文件给出了金属薄膜材料的硬度、弹性模量和应力应变曲线的测定方法。

2、工作简况。

（一）任务来源

《微机电系统（MEMS）技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试验方法》是

国家标准化管理委员会2022年下达的标准制修订计划项目，项目编号为

T-469。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会归口，并由武汉大学、

中机生产力促进中心有限公司等单位负责起草。

（二）成立起草工作组

国家标准制定项目下达后，在国家标准化管理委员会的指导下，由中机生产力促进

中心牵头组织成立了国家标准起草工作组，起草工作组由武汉大学、中机生产力促进中

心有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、安徽芯动

联科微系统股份有限公司、中关村光电产业协会等单位的技术专家和标准化人员组成。

（三）资料收集和分析

标准起草工作组在已有研究基础上，搜集了大量国内外文献资料，深入了解相关技

术的最新动向和信息，综合分析了相关国内外标准、技术文献，结合实际工作经验，深

入研究、综合分析、咨询意见。

（四）标准草案编制

2023年9月—2023年12月，标准起草工作组在已有研究工作基础上，经多次讨

论、修改，编制形成了本标准草案的第一稿。2024年3月起草工作组对标准草案的内

容进行了讨论和质疑，提出了多项修改建议，对标准草案文本内容进行了修改和完善，

形成第二稿。2024年4月—2024年5月起草工作组对本标准草案进行了进一步的研究

讨论，会后起草工作组对标准草案内容与文本进一步修改和完善，形成本标准草案的第

三稿。

3、标准编制原则和确定标准主要内容的依据：

3.1编制原则

本标准采用国内标准GB/T25898-2010，同时按照GB/T22458-2008《仪器化纳米

压入试验方法通则》、GB/T25898-2010《仪器化纳米压入试验方法薄膜的压入硬度和

弹性模量》和GB/T21838.4-2020《金属材料硬度和材料参数的仪器化压痕试验第4

部分:金属和非金属覆盖层的试验方法》的要求和规定对标准的格式进行规范。

3.2编制依据

本标准编制依据是采用国内标准GB/T25898-2010《仪器化纳米压入试验方法薄

膜的压入硬度和弹性模量》，同时与其之间存在技术性差异，并清楚地标明这些差异以

及解释其产生的原因。

4、主要试验（或验证）的分析、综述报告。

结果分析

4.1硬度和弹性模量的结果分析

硬度和弹性模量的测试结果分析方法如下：

a）绘制重复测试得到的试样压入硬度H和弹性模量E的平均值随压入深度或相

ITIT

对（薄膜厚度）压入深度曲线。

b）分析压入硬度和弹性模量曲线，可获得试样的压入硬度和弹性模量随压入深度

的变化规律，同时可提取试样在压入深度范围内特定深度处的硬度和弹性模量。