TZOIA-硅微谐振压力传感器性能试验方法.pdf

ICS31.260

CCSL50

ZOIA

中关村光电产业协会团体标准

T/XXXXXXX—XXXX

硅微谐振压力传感器性能试验方法

Testmethodsoftheperformancesfor

siliconmicroresonantpressuretransducer/sensor

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中关村光电产业协会  发布

T/XXXXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4试验条件2

5试验的一般规定3

6试验项目及试验方法3

参考文献17

I

T/XXXXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由中国科学院空天信息创新研究院提出。

本文件由中关村光电产业协会归口。

本文件起草单位：中国科学院空天信息创新研究院

本文件主要起草人：王军波，鲁毓岚，谢波，陈德勇。

II

T/XXXXXXX—XXXX

硅微谐振压力传感器性能试验方法

1范围

本标准规定了硅微谐振压力传感器性能的试验条件、试验的一般规定、试验项目及试验方法、数据

计算及处理。

本标准适用于硅微谐振压力传感器（包括绝压传感器、差压传感器和表压传感器，以下简称传感器）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T7665-2005传感器通用术语

GB/T18459-2001传感器主要静态性能指标计算方法

GB/T15478-2015压力传感器性能试验方法

GJB150.2A-2009军用装备实验室环境试验方法第2部分：低气压（高度）试验

GJB150.3A-2009军用装备实验室环境试验方法第3部分：高温试验

GJB150.4A-2009军用装备实验室环境试验方法第4部分：低温试验

GJB150.5A-2009军用装备实验室环境试验方法第5部分：温度冲击试验

GJB150.9A-2009军用装备实验室环境试验方法第9部分：湿热试验

GJB150.10A-2009军用装备实验室环境试验方法第10部分：霉菌试验

GJB150.11A-2009军用装备实验室环境试验方法第11部分：盐雾试验

GJB150.12A-2009军用装备