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ICS27.160
CCSF12
团体标准
T/CPIA0105—2025
晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范
Safetydesignspecificationforhorizontalfurnaceforcrystalline
siliconphotovoltaiccells
2025—03—15发布2025—03—30实施
中国光伏行业协会 发布
T/CPIA0105—2025
晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范
1范围
本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因
素,规定了应采取的防护措施和设计要求。
本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB12142—2007便携式金属梯安全要求
IEC60204-1:2016机械安全机械的电气设备第1部分:一般要求(Safetyofmachinery—
Electricalequipmentofmachines—Part1:generalrequirements)
ISO13849-1:2023机械安全控制系统的安全相关部件第1部分:设计的一般原则(Safetyof
machinery—Safety—Relatedpartsofcontrolsystems—Part1:Generalprinciplesfordesign)
ISO13857:2019机械安全防止上肢和下肢到达危险区域的安全距离(Safetyofmachinery—
Safetydistancestopreventhazardzonesbeingreachedbyupperandlowerlimbs)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
类别category
控制系统安全相关部件在防止故障能力以及故障条件下后续行为方面的分类,它通过部件的结构布
置、故障检测和/或部件可靠性来达到。
3.2
危险hazard
潜在的伤害源。
3.3
风险risk
伤害发生概率和伤害发生的严重程度的组合。
3.4
联锁interlock
安排数个(种)器件一起工作,为了防止危险情况发生、防止设备或材料损坏、防止误操作和保证
正确运行的一种制约关系。
3.5
使能功能enablingfunctions
1
T/CPIA0105—2025
防止误操作的一种特殊功能。
3.6
安全技术措施safetytechnicalmeasures
所有为了避免危险而采取结构上和/或说明的措施。分为直接、间接和提示性安全技术措施。
3.7
带电部分livepart
正常使用时被通电的导体或导电部分,包括中性导体。
3.8
直接接触保护protectionagainstdirectcontact
所有保护人和动物不受与电气设备带电部分接触危险的措施。
3.9
间接接触保护protectionagainstindirectcontact
所有保护人和动物不受由于外露导电部分上危险的接触电压所造成危险的措施。
4缩略语
CDA:压缩空气(CompressedDryAir)
EMO:紧急停止(EmergencyMa
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