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成都信息工程大学硕士学位论文
柔性X射线探测器设计与制备研究
摘要
近年来，X射线平板探测器因其具备数字成像、分辨率高、动态范围宽等特
点，被广泛用于放射医学、无损检测、安全检查等领域。然而，这类器件的功能
层和器件层均由玻璃或Si基片支撑，使得整体呈现“刚性”特征，在应对复杂
曲形工件检测、贴附式应用场景，其刚性特性的局限性将逐渐显现。柔性X射
线探测器可克服刚性器件的应用局限，依据物件外形将器件弯曲变形直接贴附于
工件表面，在实现探测成像功能的同时又降低系统复杂度，是轻便式医学成像、
可穿戴设备、新结构CT等领域的核心部件，已成为新一代X射线探测技术的研
究热点。
论文针对柔性光电转换层材料的制备、材料物相结构表征、柔性探测器设计
与制备、电学性能表征、探测成像等关键指标进行了系统研究，掌握了柔性X
射线探测器的制备与探测性能测试方法，具体阐述如下：采用电子束蒸发的方式
在柔性衬底上制备了PbO光电转换层，获得了表面光泽度高、无裂纹、无颗粒
团聚的PbO薄膜。对PbO探测器的整体结构进行了设计，采用激光刻蚀的方式
使光电转换层更加易于弯曲，激光刻蚀前后未造成PbO薄膜改性。使用了PDMS
作为阻挡层和保护层，阻挡了底、顶电极的接触，保护了光电转换层。设计了2
mm×2mm的单电极，测试了探测器在初始状态和弯曲状态下的暗、光I-V和I-t
特性，对净光电流、灵敏度、信噪比进行了计算。器件在曲率直径为32mm，5V
偏压，1μGy·s-1剂量率下时，净光电流为188pA，灵敏度为3360.7μC·Gy-1·cm-2，
信噪比可达145.87。器件经过循环弯曲测试，在弯曲100次后，电学性能才开始
出现衰减。柔性X射线探测器各项性能指标优异且稳定。设计16点线阵电极用
来探测成像，所呈现的图形清晰。探究了磁控溅射法制备CdSe薄膜，解决了膜
表面裂纹和颗粒团聚的问题，制备了柔性X射线探测器。探索了一种新工艺，
解决光电转换层柔性与厚度不可兼得的问题，制备方法简单，光电转换层具备高
柔性和高厚度。在初始状态和弯曲状态下，对面电极的探测器进行光电性能的测
试，在曲率直径为32mm，6V偏压，51.96μGy·s-1剂量率时，80%CdSe器件净
光电流值可达775.72pA，灵敏度为0.73μC·Gy-1·cm-2，信噪比为652.94；3V偏
压，58.14μGy·s-1剂量率时，80%PbO器件净光电流值为444.51pA，灵敏度为
0.34μC·Gy-1·cm-2，信噪比为757.33。柔性X射线探测器各项性能指标稳定。设
计了80%CdSe和80%PbO皮肤剂量计，用来检测皮肤表面剂量。为了模仿手
的表皮温度，设置了几组温度条件，在曲率直径27mm时，对80%CdSe和80%
PbO皮肤剂量计进行电学测试，器件性能稳定。皮肤剂量计进行循环弯曲测试
100次，电学性能依旧稳定。设计柔性阵列(8×8)探测器，对弯曲工件进行成像，
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成都信息工程大学硕士学位论文
成像图形清晰。
关键词：PbO，CdSe，柔性，X射线探测器，性能表征
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成都信息工程大学硕士学位论文
DesignandFabricationofFlexibleX-rayDetectors
ABSTRACT
Inrecentyears,X-rayflatpaneldetectorshavebeenwidelyusedinradiation
medici
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