氮化物基薄膜的设计制备、高温性能及应用的多维度解析.docx

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2025-06-18 发布于上海
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氮化物基薄膜的设计制备、高温性能及应用的多维度解析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学的广阔领域中，氮化物基薄膜凭借其独特且卓越的性能，已成为众多高科技领域的关键支撑材料，在光电子、半导体、机械制造以及航空航天等诸多前沿领域发挥着不可替代的重要作用。

在光电子领域，氮化镓（GaN）基薄膜作为核心材料，广泛应用于发光二极管（LED）、激光二极管（LD）等光电器件。以LED为例，基于氮化镓基薄膜制备的高亮度LED，极大地提高了照明效率，实现了节能与环保的双重目标，广泛应用于室内外照明、显示屏背光源等场景，推动了照明行业的革新。在半导体领域，氮化硅（Si?N?）薄膜因其优良的绝