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硅基MEMS后坐保险机构的优化设计与性能评估
目录
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1.1微机电系统发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.2硅基MEMS技术优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.1.3后坐保险机构应用需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2.1MEMS后坐保险技术研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.2.2硅基MEMS制造工艺分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2.3优化设计方法比较．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.3.2预期研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
1.4.1研究方法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.4.2技术路线规划．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
硅基MEMS后坐保险机构设计理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.1后坐保险机构工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
2.1.1能量吸收机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.1.2触发释放机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
2.2硅基MEMS材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.2.1硅材料特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.2.2其他候选材料比较．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.3结构设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.3.1微纳尺度设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.3.2可靠性设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.4理论模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.4.1力学模型构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.4.2能量转换模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
硅基MEMS后坐保险机构优化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.1设计参数确定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
3.1.1关键尺寸识别．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
3.1.2参数范围界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
3.2优化目标设定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
3.2.1能量吸收效率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
3.2.2触发灵敏度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
3.2.3可靠性指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
3.3优化算法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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