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微探针跨尺度沉积方法研究

目录

微探针跨尺度沉积方法研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

一、内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.1微探针技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2跨尺度沉积技术的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

二、文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1微探针技术国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2跨尺度沉积技术发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3相关领域技术进展与趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

三、微探针跨尺度沉积技术理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1微探针技术基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.2跨尺度沉积技术理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.3微探针与跨尺度沉积技术结合的可能性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

四、微探针跨尺度沉积实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.1实验材料与设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

4.2实验步骤及流程设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.3数据采集与分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

五、微探针跨尺度沉积特性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

5.1沉积效率研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

5.2沉积均匀性研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

5.3沉积形态与结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

六、微探针跨尺度沉积技术应用研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

6.1在材料加工领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

6.2在半导体制造领域的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

6.3在生物医学领域的应用探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

七、结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

7.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

7.2研究方向展望与建议．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

微探针跨尺度沉积方法研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

1.2研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

1.3研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

微探针技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

2.1微探针的定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

2.2微探针的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

2.3微探针的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

跨尺度沉积方法研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

3.1传统沉积方法的局限性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．