GB/T 45826-2025光刻用掺钛石英玻璃.pdf

ICS81.040.30

CCS35

Q

中华人民共和国国家标准

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GBT458262025

光刻用掺钛石英玻璃

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2025-05-30发布2025-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT458262025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

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请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国建筑材料联合会提出。

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本文件由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会SACTC447归口

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本文件起草单位湖北菲利华石英玻璃股份有限公司中国建筑材料科学研究总院有限公司中国

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国检测试控股集团股份有限公司玻璃新材料创新中心安徽有限公司中国科学院微电子研究所

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中建材玻璃新材料研究院集团有限公司成都光明光电股

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份有限公司成都光明光电有限责任公司威海长和光导科技有限公司南通晶体有限公司中国计量科

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学研究院中国科学院光电技术研究所久智光电子材料科技有限公司中国科学院上海光学精密机械

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研究所济南光微半导体科技有限公司上海菲利华石创科技有限公司神光光学集团有限公司上海传

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芯半导体有限公司成都路维光电有限公司长沙韶光芯材科技有限公司国检测试控股集团重庆检测

有限公司。