《半导体工程专业英语》课件——3.7 Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) and Sensors.pptxVIP

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2025-06-22 发布于福建
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《半导体工程专业英语》课件——3.7 Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) and Sensors.pptx

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微专业---半导体制造技术课程：半导体工程专业英语

ContentsSemiconductorProperties半导体特性01SemiconductorMaterials半导体材料02SemiconductorDeviceandHowTheyareUsed半导体器件及其使用03ProcessTechnology工艺技术04FabricationProcesses制造工艺05SemiconductorMaterialsandProcessCharacterization半导体材料与工艺表征06

SemiconductorDevicesandHowTheyAreUsed3.1SemiconductorDevices3.2ConstructingSemiconductorDevice3.3Two-TerminalDevices:Diodes3.4ThreeTerminalDevices:Transistors3.5IntegratedCircuits3.6ImageDisplayingandImageSensingDevices3.7Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)andSensors3.8WearableandImplantableSemiconductorDeviceSystems03

AverydistinctclassofsemiconductordevicesisrepresentedbyMicroElectro-MechanicalSystems(MEMS),alsoreferredtoasNano-ElectroMechanicalSystems(NEMS)dependingonthesizeofdevicefeatures.Theelectro-mechanicalsemiconductordeviceswereconceivedasawaytoexploitexcellentmechanicalpropertiesofsiliconwhichallowliterallyendlesspossibilitiesforintegrationofelectronicandmechanicalfunctionswithinasinglematerialsystem.16Introduction3SemiconductorDevicesandHowTheyAreUsed3.7Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)andSensors/d??st??kt/特殊的/k?n?si?vd/认为/?l?t?r?li/确实地

173SemiconductorDevicesandHowTheyAreUsed3.7Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)andSensorsTextExamplesoftheMEMSdevicesprocessedintosilicon(SandiaNationalLaboratories).3.7.1MEMS/NEMSdevices

MEMS(Micro-ElectroMechanicalSystem)andNEMS(Nano-ElectroMechanicalSystem)devicesintegratemechanicalandelectricalfunctionsusingsomewhatmodified,butotherwisestandardsemiconductordevicemanufacturingtechnology.Suchfunctionalintegrationispossibleonlybecausesilicon,besidesadvantageouselectricalandcost/manufacturingrelatedpropertiesdiscussedearlier,alsofeaturesoutstandingmechanicalproperties.Thiscombinationisuniquetosiliconandcannotbereproducedusinganyothermaterial.18