《半导体工程专业英语》课件——4.2 Liquid-Phase (Wet) Processes.pptxVIP

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2025-06-20 发布于福建
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《半导体工程专业英语》课件——4.2 Liquid-Phase (Wet) Processes.pptx

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微专业---半导体制造技术课程：半导体工程专业英语

ContentsSemiconductorProperties半导体特性01SemiconductorMaterials半导体材料02SemiconductorDeviceandHowTheyareUsed半导体器件及其使用03ProcessTechnology工艺技术04FabricationProcesses制造工艺05SemiconductorMaterialsandProcessCharacterization半导体材料与工艺表征06

ProcessTechnology4.1SubstratesfromtheProcessPerspective4.2Liquid-Phase(Wet)Processes4.3Gas-Phase(Dry)Processes4.4ProcessesinSemiconductorManufacturing4.5ContaminationControl4.6ProcessIntegration04

10IntroductionInspiteofbeingrelativelyexpensiveanddemandingfromthepointofviewofrequiredinfrastructureandsafety,processesinvolvingliquidchemicalsandwater(commonlyreferredtoaswetprocesses)cannotbeeliminatedfromthesemiconductordeviceprocessingwheretheyareusedforthepurposeofcleaningoftheprocessedmaterials,aswellinmaterialetchingoperations.Inthecaseofoperationscompatiblewithwetprocesses,themostcommonisimmersionofprocessedmaterialintheliquidagentswithsprayingusedasanalternativesolutioninsomecases.Regardlessofhowanygivenwetprocessisimplemented,however,waterandliquidchemicalsofdesiredcompositionarethekeyelementsinanywet-phaseprocess./??nfr?str?kt??r/基础设施4.2Liquid-Phase(Wet)Processes4ProcessTechnology/k?m?p?t?b(?)l/兼容的/?e?d??nts/试剂湿相/?spre???/喷洒/??l?m?ne?t?d/消除

11Waterisamediumofspecialimportancenotonlydirectlyinwetprocessingofsemiconductorwafers,butalsointheotherpartsofsemiconductormanufacturingendeavor(forinstanceincoolingapplications)whereitisbyfarthelargestconsumable.Infact,waterconsumptionperwaferexceedsbyafactorofatleastthreeconsumptionsofenergy,elementalgases,andspecialtychemicalscombined.4ProcessTechnology/k?n?su?m?bl/消耗品4.2.1WaterText半导体制造4.2Liquid-Phase(Wet)Processes元素气体/?spe??lti/专门的

12Inthecourseofdevicemanufacturingwaterservesthreemainpurposes.First,waterisanagent