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摘要
随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展，MEMS加速度计因其具有体
积小、功耗低、工作频带宽和动态性能好等优点，被广泛应用于航空航天、汽车工业、
MEMS
军事装备等领域。加速度计在服役过程中经常受到不同脉宽的高幅值冲击载荷
作用，而其在不同脉宽冲击载荷下的响应及不同响应下的承载机理有很大的差异。因
此，研究MEMS加速度计微结构在冲击载荷下的动态响应，可为其设计和应用提供
理论基础，并具有重要的科学研究意义。本文以四端梁岛式
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