硅玻璃的光学性质.pptVIP

第1页，共36页，星期日，2025年，2月5日シリカガラスの伝送損失D.L.Griscom,J.Ceram.Soc.Jpn.99,923(1991)第2页，共36页，星期日，2025年，2月5日赤外線領域の光吸収Si-OH，Si-Hなどの末端構造に起因するもの骨格の振動などに起因するもの?末端構造濃度の定量?結合角分布→仮想温度の推定第3页，共36页，星期日，2025年，2月5日R.Brückner,J.Non-Cryst.Solids,5,123(1970)シリカガラスの分光透過率OH基関連の吸収：1.4mm，2.2mm，2.7mm第4页，共36页，星期日，2025年，2月5日ドライゲルを各温度て時間加熱処理したときの近赤外吸収スペクトルWooketal.,JAm.Ceram.Soc.66,693(1983)第5页，共36页，星期日，2025年，2月5日シリカゲル体(Cabasil)のOH関連赤外吸収スペクトルオリジナル室温脱気500?C脱気800?C脱気粟津浩一「非晶質シリカ材料応用ハンドブック」リアライズ(1999)p.70;原典M.L.Hair,J.Non-Cryst.Solids19,299(1975)OHOH関連の赤外吸収スペクトルについては下記参照:K.M.DavisandM.Tomozawa,J.Non-Cryst.Solids,201,177(1996).第6页，共36页，星期日，2025年，2月5日J.E.Shelby,J.Appl.Phys.50,3702(1979)SiOHとSiHによる吸収radγ線照射量H2=6.5×1020cm-3モル吸光係数eH=(0.45±0.06)eOHeOH=77.5dm3mol-1cm-1G.HetheringhtonandK.H.Jack,Phys.Chem.Glass,3,129(1962)第7页，共36页，星期日，2025年，2月5日赤外反射および吸収スペクトル?表面付近の情報?バルクの情報A.Agarwal,K.M.Davis,andM.Tomozawa,J.Non-Cryst.Solids,185,191(1995)1122cm-1ピーク←Si-O-Si結合の非対称振動モード2260cm-1ピーク←1122cm-1ピークの倍音第8页，共36页，星期日，2025年，2月5日J.T.Fitchetal.J.Vac.Sci.Tech.B7,153(1989)酸化温度シリコン酸化膜の赤外吸収スペクトル第9页，共36页，星期日，2025年，2月5日1160cm－1反射ピーク位置とSi-O-Si結合角との関係nref:反射スペクトルから得られたピーク位置n:Kramers-Kr?nigの関係式から得られたピーク位置q:Si-O-Si結合角m=2.676×10-26kg:酸素原子の質量a=5.305×10-12s/cma=600N/mb=100N/mA.Agarwal,K.M.Davis,andM.Tomozawa,J.Non-Cryst.Solids,185,191(1995)第10页，共36页，星期日，2025年，2月5日各種シリカガラスの紫外～真空紫外分光透過率第11页，共36页，星期日，2025年，2月5日紫外～真空紫外領域の吸収(固有の吸収)エネルギーバンドによる吸収バンドギャップ≈9eVエキシトンによる吸収≈8.5,≈11.5eV,Urbach端欠陥構造による吸収末端構造による吸収≡SiSi≡，≡Si???Si≡，≡Si?≡Si-OH,≡Si-Cl溶存気体分子による吸収O2,Cl2第12页，共36页，星期日，2025年，2月5日バンドギャップよりも短波長領域での吸収スペクトルO.M.Sorokinetal.Opt.Spectrocs.35,291(1973)1～3:NaClまたはKCl上にスパッタ後基板を溶解除去1.70nm2.130nm,3.140nm4,5:反射スペクトル第13页，共36页，星期日，2025年，2月5日バンドギャップより