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微波传感应用中MEMS原子气室制备技术进展

目录

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1.1微波传感技术发展概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.1.2MEMS技术在传感领域的应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.1.3原子干涉微波传感器的独特优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2原子干涉微波传感原理简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.2.1原子回旋振荡．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

1.2.2原子干涉效应．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.2.3微波场与原子相互作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

1.3MEMS原子气室制备技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.3.1气室功能与结构需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

1.3.2制备技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.3.3技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

二、MEMS原子气室关键制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.1基底材料选择与加工．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.1.1常用材料特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.1.2材料表面处理与改性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

2.1.3微纳加工技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.2微腔结构精确构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.2.1腔体形貌设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.2.2微纳尺度尺寸控制方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.2.3高精度微细加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

2.3透镜与窗口优化设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.3.1透镜材料选择与抛光工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.3.2透明窗口材料特性与制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.3.3透射/反射效率提升策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

2.4密封性与真空获取技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.4.1气室密封结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

2.4.2微阀与真空泵集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

2.4.3真空度维持与控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

三、先进制备技术的探索与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.1自组装与微流控技术集成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.1.1原子制备与输送的微流控方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.1.2自组装技术在气室构建中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

3.1.3提高原子注入效率的技术路径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

3.2增材制造(3D打印)技术的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

3.2.13D打印在复杂气室结构制造中的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

3.2.2多材料打印实现多样化功能气室．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.2.3打印精度与性能优化研究．．．．．．．．．．．．．．．．．