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纯水及回收系统工程施工界面
J007纯水及回收系统工程包含不限于:预处理系统设备、一次纯水系统(makeupsystem)设备、终端抛光系统(polishingsystem)、一次配管路及机台端清洗回收水收集处理系统、纯水化学加药系统和纯水区域的漏液侦测系统、localscrubber给水及回收水收集处理系统。localscrubber给水系统的补水由RO浓水提供(自来水在补水量不足时应急供水)。
本系统工作范围为:
完成相应的纯水、localscrubber的供应及回收系统的深化设计(含BIM、其他工程配合;纯水站及抛光区、一次配管路、localscrubber供水管路、RO水供应管路,由J007纯水及回收系统工程实施深化设计(含BIM及配合J003动力工程、J004洁净室工程深化);
FAB空间规划含BIM属于J004FAB洁净室工程范围,J007纯水及回收系统工程供应商配合洁净工程进行相关空间规划。
J007纯水及回收系统工程范围含:制造、采购供货、运输(含二次驳运)、掏箱及卸货、保险、仓储、就位、安装及调试、试运行、配合验收、水质分析及检测、培训、售后服务、备品备件、专用工具、缺陷责任期、质量保证期及其它相关服务。
包括通过整个项目建筑结构、精装、机电系统纯水供应部分的分界点前检测及验收等内容。
(1)与土建工作界面:
FAB纯水区域及CUB纯水区域的设备混凝土基础、纯水系统的混凝土水池及全厂纯水区域区域的围堰混凝土工程属于CO1土建工程范围(围堰容积按照110%最大罐容积设置)。
CUB预处理区域(包括化学药剂间的地面地沟地坑围堰设备基础的FRP)、纯水站站房区域、纯水化学品载药的FRP涂层由J007纯水及回收系统工程负责;
FAB纯水区域,及CUB纯水区域的地沟地坑FRP隔栅盖板属于J007纯水及回收系统工程;CUB纯水水池的FRP人孔盖板、水池顶开洞的FRP盖板属于J007纯水及回收系统工程。
因施工工序或前期考虑不周造成的土建工作遗漏,如小范围的围堰浇筑,墙面及楼面的开孔、纯水区域内的必要的其他土建改造、修复、完善等均属于J007纯水及回收系统工程;
CUB纯水区域的混凝土槽/混凝土池内壁、爬梯等FRP涂层属于J007纯水及回收系统工程;
混凝土工程预埋管后端管路安装及预埋套管FRP的涂覆属于J007纯水及回收系统工程;
纯水工程设备接地由J007纯水及回收系统工程接至土建工程预留的接地端子。
(2)与J003动力工程、J004洁净室工程(统称“所在区域机电工程”)工作界面:
所有纯水工程相关的水池补水、吸水及水泵,包括液位计、溢流、泄水等附件均在J007纯水及回收系统工程范围内(生产水池的自来水补水管路及其阀门除外,此部分属于J003动力工程;生产水池吸水母管预留法兰后的安装属于J007纯水及回收系统工程;生产水池的液位计各包自行设置和控制)
J007纯水及回收系统工程供至需使用ROW的设备间区域(如CUB锅炉房、FAB的MAU机房和PCW站房)墙内1米,含预留阀门并带盲板封堵;之后的工作属于所在区域机电工程负责;
由所在区域的机电工程商负责纯水工程设备区域(如CUB纯水区域、各楼栋纯水区域)进墙1米预留酸性/碱性/有机/一般排风管接口,带阀门;之后的工作属于J007纯水及回收系统工程,J007纯水及回收系统工程提需求,并施工前确认;
由所在区域的机电工程商负责纯水工程设备区域(如CUB纯水区域、各楼栋纯水区域)所需的总配电柜一次侧进线端子(不含配电柜,含正常及应急电进线电缆、U电电缆进线电缆),J007纯水及回收系统工程提需求,并施工前确认;
由所在区域的机电工程商负责纯水工程设备区域(如CUB纯水区域、各楼栋纯水区域)在进墙一米预留自来水接口,带阀门及法兰,之后的工作属于J007纯水及回收系统工程。
各楼栋纯水区域(进入系统区域1米)由所在区域对应机电工程商提供用于中温热水、高温热水、冷冻水供回水阀组各一对,阀门带盲板封堵;之后的工作属于J007纯水及回收系统工程;
(4)与J009气体管线工程工作界面
J009气体管线工程于纯水区域(进入系统区域1米)提供GN2/PN2/CDA供气接口(自带阀门);之后的工作属于J007纯水及回收系统工程;
(5)与J008特气系统工程工作界面
GMS:CUB纯水区域MB混床、氮封水箱、FAB纯水区域氮封水箱需设置氧气侦测设备,设备采购安装及控制系统属于J008特气系统工程;
(6)与J010生产废水处理工程
J007纯水及回收系统工程CUB栋内的机台清洗水的不合格水接至酸碱废水均和池顶预留法兰;J010生产废水处理工程负责提供预留法兰
J007纯水及回收系统工程CUB栋内UPW的树脂再生酸碱废水排至酸碱废水均和池/含氟废水均和池进水预留法
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