原创力文档摘要
摘要
光电探测器作为一种检测光能的器件，近年来在环境监测、火灾预警、医疗检查、
光通信等领域均有广泛应用。作为一种直接带隙半导体材料，氧化锌（ZnO）因其宽
带隙和高激子结合能等特性在光电探测领域备受关注。然而，表面氧吸附和解吸附以
及窄吸收范围等问题会严重影响基于溶胶凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜光电探测器的响
应速度、暗电流噪声和工作波段等光电探测性能。为进一步提升ZnO基薄膜光电探测
器性能，本文在研究Zn
摘要
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光电探测器作为一种检测光能的器件，近年来在环境监测、火灾预警、医疗检查、
光通信等领域均有广泛应用。作为一种直接带隙半导体材料，氧化锌（ZnO）因其宽
带隙和高激子结合能等特性在光电探测领域备受关注。然而，表面氧吸附和解吸附以
及窄吸收范围等问题会严重影响基于溶胶凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜光电探测器的响
应速度、暗电流噪声和工作波段等光电探测性能。为进一步提升ZnO基薄膜光电探测
器性能，本文在研究Zn
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