原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
异形检测技术的光学测量方法
目录
内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2异形检测概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3光学测量方法简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.4本文研究内容与结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
异形检测的光学原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.1光的传播与干涉．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.2光的衍射与偏振．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.3基于光学原理的异形检测方法分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
常用光学测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.1光学轮廓测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
3.1.1结构光测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
3.1.2同步相移测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.1.3唯一相位测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.2光学断层扫描技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.2.1基于激光扫描的断层扫描．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
3.2.2基于白光干涉的断层扫描．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
3.3光学三维成像技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
3.4光学表面形貌测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
3.4.1莫尔条纹法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.4.2瑞利干涉法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.4.3偏振干涉法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
异形检测光学测量系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
4.1系统总体架构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
4.2光源选择与设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
4.3探测器选择与校准．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.4数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.5系统标定与精度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
异形检测应用实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
5.1电子器件表面缺陷检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
5.2航空航天部件尺寸测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
5.3生物医学样品形貌分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
5.4艺术品表面纹理复制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
光学测量方法的优势与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
6.1光学测量方法的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
6.1.1非接触测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
6.1.2高精度测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
6.1.3大范围测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
文档评论（0）