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目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 III
Abstract IV
1前言 1
1.1压力传感器的国内外发展现状 1
1.2压阻式压力传感器简介 2
1.2.1压阻式压力传感器的结构 2
1.2.2压阻式压力传感器的发展 2
1.2.3扩散硅压力传感器的应用 3
1.2.4扩散硅压力传感器的特点 4
1.3扩散硅压力传感器的发展趋势 5
1.4本课题所完成的任务 6
2扩散硅压力传感变送器的原理 7
2.1压阻式压力传感器的机械原理 7
2.2压阻式压力传感器的工作原理 8
3扩散硅压力传感器的温度补偿原理 9
3.1对扩散硅压力传感器进行温度补偿的意义 9
3.2零点温度漂移及其补偿 10
3.2.1零点温度漂移产生的原因 10
3.2.2零点温度漂移的补偿 10
3.3灵敏度温度系数及其补偿 14
3.3.1灵敏度漂移产生的原因 14
3.3.2灵敏度漂移补偿措施 14
3.4零位温度系数及其补偿 14
4扩散硅压力变送器整体方案设计与计算 17
4.1电源电路 17
4.1.1传感器供电电路 17
4.1.2信号处理供电电路 20
4.2信号处理电路 21
4.2.1电路工作原理 22
4.2.2滤波电路设计 24
4.2.3调零和调满电路设计 25
4.3电压电流转换 26
4.4两线制输出 27
4.5整机测量与误差分析 27
5MPU最小系统及数据采集通信系统设计 33
5.1系统硬件设计 33
5.2系统软件设计 37
6总结 39
谢辞 41
参考文献 42
附录 43
摘要
本文介绍了智能化扩散硅压力传感变送器的研制。智能压力传感变送器的核心部件--压力传感器是利用单晶硅的压阻效应（集压力敏感转换于一体），在单晶硅膜片上扩散一个惠斯登应变电桥。惠斯登电桥检测出电阻值的变化，经过差分归一化放大器，输出放大器放大后，再经过电压电流的转换，变换成相应的电流信号，该电流信号通过非线性校正环路的补偿，即产生了与输入电压成线性对应关系的4～20mA的标准输出信号。
结合低功耗高性能单片机实现被测参量误差补偿及对传感系统的远程校准及与上位机的数据通信，并使整个测量传感系统具有体积小，重量轻，测量精度高，安装方便，长期稳定度好等优点。
关键词：智能化；扩散硅；压力传感器；二线制变送器；补偿
IntelligentDiffusedSiliconPressureSensorTransmitter
Abstract
Thispaperintroducestheintelligentdiffusedsiliconpressuresensortransmitter.
Thecorecomponentsofintelligentpressuresensortransmitterthepressuresensorusesthepiezoresistiveeffectofsinglecrystalsilicon(inonesetofpressure-sensitiveandconversion),thesilicondiaphragmstrainontheproliferationofaWheatstonebridge.Wheatstonebridgedetectschangesinresistance.Afterdifferentialnormalizedamplifier,outputamplifier,andthenaftertheconversionofvoltageandcurrent,itconvertsintoacorrespondingcurrentsignal.Thecurrentsignalchangesintothestandard4～20mAoutputsignalwhichhasalinearcorrespondingrelationshipwiththeinputvoltage,throughanonlinearcorrectionloopcompensation.Theoutputofthebridgetherewillbeacorrespon
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