无线无源柔性大应变传感器的制备工艺与测量技术研究.docxVIP

无线无源柔性大应变传感器的制备工艺与测量技术研究

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.1.1柔性电子技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.1.2大应变传感应用需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

1.1.3无线无源技术优势探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.1柔性传感器制备技术进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

1.2.2大应变传感技术研究动态．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

1.2.3无线无源传感系统发展概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.3.1主要研究内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

1.3.2预期研究目标设定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

1.4.1采用的研究方法论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

1.4.2详细技术实施路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

无线无源柔性大应变传感器理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

2.1柔性基底材料特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

2.1.1常用柔性基材类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.1.2基底材料力学性能影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.2应变传感机理研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.2.1电阻式传感原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2.2压电式传感原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

2.2.3其他传感机制探讨．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

2.3无线无源传感系统原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.3.1无线能量采集技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

2.3.2无源信号传输机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

2.3.3低功耗电路设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

无线无源柔性大应变传感器制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46

3.1感应层材料选择与制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.1.1高灵敏度敏感材料筛选．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

3.1.2材料制备方法比较．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.2传感层微纳加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

3.2.1微纳图案化工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

3.2.2加工参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.3柔性封装技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56

3.3.1封装材料选择标准．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58

3.3.2封装结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

3.3.3封装工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．