超磁致伸缩微机械悬臂梁系统：原理、建模与性能分析.docx

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2025-06-30 发布于上海
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超磁致伸缩微机械悬臂梁系统：原理、建模与性能分析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微机电系统（MEMS）技术作为多学科交叉融合的前沿领域，正以前所未有的速度改变着人们的生活和工业生产方式。MEMS技术将微电子技术与机械工程、材料科学、传感器技术等有机结合，实现了微型化、智能化的器件和系统制造，广泛应用于航空航天、生物医学、汽车电子、环境监测等诸多领域，成为推动现代科技进步的关键力量之一。

超磁致伸缩材料（GMM）作为一种新型功能材料，在MEMS技术的发展进程中扮演着举足轻重的角色。这类材料具有独特的磁致伸缩效应，即在外加磁场作用下，能够产生显著的尺寸变化，其磁