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洁净室行业分类标准

洁净室通过严格控制空气中的尘埃粒子、微生物等污染物，为精密电子制造、生物制药等行业提供特定洁净度的空间环境。在现代工业与科研领域发挥着重要作用。以下从不同维度介绍洁净室的分类标准：

一、按气流流型分类

1.1单向流洁净室

• 垂直单向流：空气从顶部垂直流向地面，速度通常在0.25-0.5m/s。以活塞挤压原理高效净化空气，能创造极高的洁净度，但建设和运行成本较高。常用于芯片光刻等对洁净度要求极为严苛的关键工序。例如，在高端芯片制造过程中，光刻环节对环境洁净度要求极高，垂直单向流洁净室可确保几乎无颗粒污染，保证芯片光刻的高精度。

• 水平单向流：气流从送风墙水平流向回风墙，速度一般为0.3-0.5m/s，可实现100级洁净度。适用于一些对洁净度有较高要求，且产品或工艺在水平方向上具有连续性的场景。如某些电子元器件的生产流水线，水平单向流洁净室能有效维持生产环境的洁净度。

1.2非单向流洁净室

空气流动方向多样且不规则，基于稀释原理净化空气。通过顶部高效过滤器送风，有多种回风型式可供选择，可通过调节换气次数实现千级到30万级的洁净度。由于其建设和运行成本相对较低，适用于食品加工、一般装配等对洁净度要求相对不那么严格的场所。例如，食品包装车间采用非单向流洁净室，能在一定程度上控制尘埃粒子，保证食品包装过程的卫生。

1.3混合流洁净室

融合了单向流与非单向流的优势，在需要高洁净度的关键区域采用单向流，其他区域采用非单向流。通过压缩垂直单向流面积，可节省成本。常用于制药厂等场所，在核心生产区采用单向流保障产品质量，在周边辅助区域采用非单向流，实现成本与效果的平衡。

1.4矢流洁净室（辐流洁净室）

空气呈放射型流线流出，无竖向交叉，以较少送风量实现高洁净度。常用于特定实验室等对洁净度有较高要求且空间布局特殊的场景，可有效利用气流组织，减少能源消耗。

二、按主要控制对象分类

2.1工业洁净室

主要控制各类灰尘粒子，为电子、化工、机械等行业的生产过程提供洁净环境。内部一般保持正压状态，防止外界污染物进入。例如，在半导体制造过程中，微小的尘埃粒子可能导致芯片短路或性能下降，工业洁净室通过高效空气过滤系统等措施，严格控制空气中的尘埃粒子数量，确保芯片制造的良品率。

2.2生物洁净室

针对微生物粒子进行控制，广泛应用于医疗、生物制药、食品饮料等领域。内部材料需能经受各种灭菌剂侵蚀，以满足灭菌需求。生物洁净室又可细分为：

• 一般生物洁净室：主要控制微生物（细菌）对象的污染，内部一般保证正压。例如制药工业中的药品生产车间、医院的手术室、食品饮料的生产车间等，通过控制微生物数量，保障药品、食品的质量安全以及医疗环境的卫生。

• 生物安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染，内部通常保持与大气的负压，防止有害微生物扩散到外界环境。如生物安全实验室，根据生物安全等级的不同（分为P1-P4，对应BSL-1至BSL-4），对防护和环境控制的要求也越来越严格，用于进行不同危险程度的生物实验。

三、按洁净度等级分类

3.1ISO分类（ISO14644-1）

是洁净室标准最常用的系统之一。根据给定体积的空气（通常为每立方米）中允许的颗粒数量（以微米为单位）将洁净室分为不同的等级，范围从ISO1（最洁净）到ISO9（最不洁净）。

• ISO1：每立方米空气中颗粒物少于1个（≥0.3微米），主要用于如光刻机等超精密环境，对颗粒控制极为严格。

• ISO2：每立方米空气中颗粒物少于10个（≥0.3微米）。

• ISO3：每立方米空气中少于100个颗粒（≥0.3微米）。

• ISO4：每立方米空气中颗粒物少于1,000个（≥0.3微米）。

• ISO5：每立方米空气中颗粒物少于3520个（≥0.5微米），常用于无菌制剂灌装环节等对洁净度要求高的场景。

• ISO6：每立方米空气中颗粒数量少于35,200个（≥0.5微米）。

• ISO7：每立方米空气中少于352,000个颗粒（≥0.5微米），常见于普通手术室或电子元件组装车间等一般性洁净需求场所。

• ISO8：每立方米空气中颗粒数少于352万个（≥0.5微米）。

• ISO9：没有颗粒数量限制（但仍受到一定程度的控制），接近普通室内环境，主要应用于基础工业。

3.2联邦标准209E(FS209E)

在采用ISO14644-1之前，美国使用联邦标准209E进行洁净室分类。该系统类似，但颗粒阈值和分类不同，现已被ISO标准所取代，但仍被一些行业参考使用。例如，第1类：每立方英尺1个颗粒（0.35微米）；第10级：每立方