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2025年半导体设备研发策略：技术路线选择与产业升级路径研究.docx

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    2025年半导体设备研发策略：技术路线选择与产业升级路径研究模板

    一、2025年半导体设备研发策略：技术路线选择与产业升级路径研究

    1.1.技术路线选择

    1.1.1技术创新与突破

    1.1.2自主研发与引进

    1.1.3产业链协同

    1.2.产业升级路径

    1.2.1产业链布局

    1.2.2人才培养与引进

    1.2.3政策支持

    1.3.技术创新与应用

    1.3.1技术研发投入

    1.3.2技术创新成果转化

    1.3.3应用场景拓展

    二、半导体设备研发的关键技术领域

    2.1.先进制程技术

    2.1.1光刻机

    2.1.2纳米压印技术

    2.1.3原子层沉积

    2.2.材料科学

    2.2.1碳化硅

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