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真空泵基本原理培训课件

目录

01

真空泵概述

02

真空泵的工作原理

03

真空泵的分类详解

04

真空泵的应用领域

05

真空泵的维护与保养

06

真空泵的选型指南

PARTONE

真空泵概述

真空泵的定义

真空泵通过机械作用，从封闭空间中抽出气体分子，降低压力至低于大气压。

真空泵的工作原理

根据工作原理，真空泵分为机械式、分子式、液环式等多种类型。

真空泵的分类

真空泵广泛应用于化工、医药、半导体制造等行业，用于创造和维持真空环境。

真空泵的应用领域

真空泵的性能指标包括极限真空度、抽速、工作压力范围等，决定了其适用场景。

真空泵的性能指标

真空泵的分类

真空泵在不同行业有不同的应用，如半导体制造、化工和医疗等领域，各有专用泵型。

按应用领域分类

根据工作原理，真空泵可分为机械式、分子式和捕获式等类型，各有其适用场景。

按工作原理分类

PARTTWO

真空泵的工作原理

机械真空泵原理

机械真空泵通过旋转或往复运动的机械部件捕获气体分子，并将其压缩排出，形成真空。

气体捕获与压缩

罗茨泵通过两个旋转的罗茨转子相互啮合，将气体从进气口输送到排气口，连续抽气。

罗茨真空泵

活塞式真空泵利用活塞在气缸内往复运动，产生压力差，吸入并排出气体，实现抽真空。

活塞式真空泵

液环泵使用液体作为工作介质，形成液环包围转子，通过转子的旋转将气体吸入并压缩排出。

液环真空泵

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03

04

物理真空泵原理

真空泵通过降低容器内气体分子密度，利用分子运动理论抽取气体，形成真空环境。

气体分子运动理论

涡轮分子泵通过高速旋转的涡轮叶片，连续捕获并排出气体分子，达到抽真空的目的。

涡轮分子泵原理

扩散泵利用高速喷射的油蒸汽冲击气体分子，将其带出容器，实现高真空度。

扩散泵工作原理

化学真空泵原理

气体分子的捕获与转移

化学真空泵通过化学反应捕获气体分子，如使用液态氮冷却捕获空气中的水蒸气。

01

02

反应室内的压力控制

通过精确控制反应室内的压力，化学真空泵能够有效地将气体分子从泵内排出。

PARTTHREE

真空泵的分类详解

正位移真空泵

真空泵根据其工作原理可分为机械式、分子式和捕获式等类型，各有其特定应用领域。

01

按工作原理分类

根据真空泵的应用领域，可以分为实验室用、工业生产用和特殊环境用等不同类别。

02

按应用领域分类

动力传输真空泵

机械真空泵通过旋转或往复运动的机械部件捕获气体分子，并将其压缩排出，形成真空。

气体捕获与压缩

01

真空泵内部的动密封和静密封确保气体不从泵内部泄漏，维持泵的抽气效率。

动密封与静密封

02

通过改变泵腔的容积，机械真空泵可以吸入和排出气体，实现连续抽气。

泵腔容积变化

03

为了保证真空泵的正常运行，通常配备有冷却系统和润滑系统，防止过热和磨损。

冷却与润滑系统

04

捕集式真空泵

01

真空泵通过降低容器内气体分子密度，利用分子运动理论实现抽气。

02

扩散泵利用高速喷射的油蒸汽冲击气体分子，将其带出容器，形成真空。

03

涡轮分子泵通过高速旋转的涡轮叶片，将气体分子从高压区输送到低压区，实现抽气。

气体分子运动理论

扩散泵工作原理

涡轮分子泵原理

PARTFOUR

真空泵的应用领域

半导体工业

化学真空泵通过化学反应捕获气体分子，如使用液态氮冷却捕获空气中的水蒸气。

气体分子捕获机制

01

扩散泵利用高速喷射的油蒸汽将气体分子从泵的入口推向出口，实现真空环境的创建。

扩散泵工作原理

02

化工行业

真空泵的工作原理

真空泵通过机械作用，从封闭空间中抽出气体分子，降低压力至低于大气压。

真空泵的性能指标

真空泵的性能指标包括极限真空度、抽速、工作压力范围等，决定了其应用范围和效率。

真空泵的分类

真空泵的应用领域

根据工作原理，真空泵分为机械式、分子式、液环式等多种类型。

真空泵广泛应用于化工、医药、半导体制造等行业，用于创造和维持真空环境。

医疗设备

根据工作原理，真空泵可分为机械式、分子式和捕获式等类型，各有其特定应用领域。

按工作原理分类

真空泵按应用领域可分为工业用、科研用和医疗用等，不同领域对真空度和稳定性要求不同。

按应用领域分类

实验室应用

分子泵通过旋转的叶轮加速气体分子，使其从进气口向排气口移动，从而达到抽气目的。

分子泵的运作机制

03

扩散泵利用高速喷射的油蒸汽冲击气体分子，将其带出容器，实现高真空度。

扩散泵工作原理

02

真空泵通过降低容器内的分子密度，利用分子运动理论抽取气体，形成真空环境。

气体分子运动理论

01

PARTFIVE

真空泵的维护与保养

日常维护要点

化学真空泵通过化学反应捕获气体分子，如使用液态氮冷却气体，使其凝结成固体。

利用化学反应将气体转化为低蒸气压的化合物，从而在泵内产生真空环境。

气体分子捕获机制