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氮化镓晶体超声辅助精密抛光工艺的优化与质量控制研究

目录

一、文档概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1氮化镓晶体的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.2超声辅助精密抛光技术的现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

二、氮化镓晶体概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1氮化镓晶体的性质与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.2氮化镓晶体的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.3氮化镓晶体加工的挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

三、超声辅助精密抛光技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

3.1超声辅助抛光原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.2超声辅助抛光设备与工艺参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.3超声辅助抛光