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温度效应下MEMS电容真空计性能优化研究
目录
温度效应下MEMS电容真空计性能优化研究（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景及意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
MEMS电容真空计工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.1MEMS技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.2电容式传感器工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.3真空计测量范围与精度要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
温度对MEMS电容真空计的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
3.1温度对材料特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.2温度对电路性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
3.3温度对系统稳定性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
性能优化策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.1材料选择与改进．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
4.2电路设计与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
4.3系统集成与测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
模拟与实验验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
5.1仿真模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
5.2实验条件设置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
5.3实验结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
6.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
6.2存在问题与不足．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
6.3未来发展方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
温度效应下MEMS电容真空计性能优化研究（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．31
文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
MEMS电容真空计工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
2.1MEMS技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.2电容式传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.3真空计的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
温度对MEMS电容真空计的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
3.1温度对材料特性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
3.2温度对电路性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.3温度对系统稳定性的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
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