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定日镜面形检测方法的探索与研究

目录

一、内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.2.2国内研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.5论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

二、定日镜面形检测理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.1定日镜基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.2镜面形偏差类型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.2.1球面形偏差．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.2.2扭曲偏差．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

2.2.3像散偏差．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

2.3镜面形检测原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

2.3.1波前分析法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

2.3.2传递函数法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

2.3.3其他检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

三、基于波前分析法的镜面形检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.1波前分析法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

3.2基于干涉测量的波前分析法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

3.2.1迈克尔逊干涉仪原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

3.2.2FP干涉仪原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

3.3基于全息测量的波前分析法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

3.3.1全息干涉原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

3.3.2数字全息技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

3.4基于自适应优化的波前分析法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

3.4.1自适应光学原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

3.4.2波前传感器技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

四、基于传递函数法的镜面形检测方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

4.1传递函数法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

4.2基于点扩散函数的传递函数法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

4.2.1点扩散函数原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

4.2.2点扩散函数测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

4.3基于调制传递函数的传递函数法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

4.3.1调制传递函数原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

4.3.2调制传递函数测量方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

五、基于其他技术的镜面形检测方法．．．．．．．．．．