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中国石油和化学工业联合会团体标准
《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》
编制说明稿
（征求意见稿）
见
意
求
征
团体标准起草小组
2024年9月
目录
一、工作简况1
1任务来源1
2标准制定背景、目的意义1
2.1产品及行业概况1
2.2标准编制的意义及必要性3
3标准制定过程3
二、标准编制原则、主要内容及其确立依据4
1标准的编写原则4
2标准主要内容5
2.1范围5
2.2规范性引用文件5
2.3技术要求6
稿
3标准确立依据6
见
3.1指标项目的确定6
3.2指标参数的确定6
意
3.2.1八氟环丁烷（CF）含量6
48
求
3.2.2氧（O）含量7
2
征
3.2.3氮（N）含量7
2
3.2.4一氧化碳（CO）含量8
3.2.5二氧化碳（CO）含量8
2
3.2.6烃（C~C）含量9
15
3.2.7其他氟碳化合物含量9
3.2.8酸度（以HF计）9
3.2.8水分10
三、试验验证情况10
四、与国际、国外同类标准技术内容的对比情况、水平分析10
五、与有关法律、行政法规及相关标准的关系10
六、重大分歧意见的处理经过和依据12
七、涉及专利的有关说明12
八、预期的经济效益、社会效益和生态效益12
九、实施团体标准的要求，以及组织措施、技术措施、过渡期和实施日期的建议
等措施建议12
十、其他应当说明的事项13
附录14
稿
见
意
求
征
等离子刻蚀气体八氟环丁烷编制说明
（征求意见稿）
一、工作简况
1任务来源
根据中国石油和化学工业联合会印发《关于印发2023年第二批中国石油和化
学工业联合会团体标准项目计划的通知》，《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》被
列入中国石油和化学工业联合会团体标准制定计划。
本标准由中国石油和化学工业联
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