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平面硅纳米线：自定位生长、同质与异质外延调控的关键技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的进程中，纳米材料以其独特的物理化学性质，成为众多领域的研究焦点。硅基纳米线作为纳米材料中的重要一员，凭借优异的电学、光学、力学等性能，在半导体器件、光电器件、传感器、能源存储与转换等领域展现出巨大的应用潜力，成为推动这些领域技术进步的关键材料之一。

硅基材料作为半导体产业的基石，在微电子学领域占据主导地位。随着电子器件持续向小型化、高性能化方向发展，传统体硅材料逐渐难以满足日益增长的技术需求。硅基纳米线的出现，为解决这一问题开辟了新路径。其具备的量子限域效应、大的比表面积以及