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工程材料表征技术-课件 4.1.2 扫描电镜的表征参量.ppt

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    *扫描电子显微镜的表征参量一、分辨率扫描电镜的分辨率的高低和检测的信号种类有关，因为不同信号产生于样品的深度范围不同，见表1由表1可见，产生俄歇电子的样品深度最小，其次为二次电子，吸收电子和特征X射线产生的样品深度范围最大如图1，电子束在样品中一般扩展成一个滴状区域，其扩展区域深度和形状受加速电压和样品原子序数的影响，扩展区域随加速电压升高而增大，随样品原子序数增大而减小信号二次电子背散射电子吸收电子特征X射线俄歇电子深度范围5~1050~200100~1000100~10000.5~2表1各种信号来自

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