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无尘室参数介绍
无尘室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的特殊空间。其关键参数包括以下几个方面:
一、空气洁净度
空气洁净度是无尘室最核心的参数之一,用于表示空气中悬浮粒子的浓度。一般以单位体积空气中大于等于某一粒径的粒子数量来衡量,例如每立方米(m3)空气中粒径≥0.5μm的粒子数量不超过100个,即表示为100级(在国际标准ISO14644-1中对应ISO5级)。常见的洁净度等级划分有美国联邦标准209E(现已废止,被ISO14644
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