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光学微腔;光学微腔概述光学微腔是一种能够;光学微腔的研究背景集成光路包括;光学微腔分类依据工作介质不同1;依据腔体对光场的不同限制机理光;光学微腔分类2.光子晶体微腔（;光学微腔分类3.回音壁式微腔（;01无论是三维的微盘还是二维的;A其中，可;其中是;回音壁式微腔（WG型微腔）自由;品质因子(Qualityfa;回音壁式微腔制作方法近年来不断;回音壁式微腔制作流程图;基片准备第一步包括在基片表面不;光刻光刻过程可将谐振腔的结构形;化学溶液腐蚀方法是一种常用的刻;微腔应用近年来，随着微纳加工技;低阈值激光器产生激光振荡，必须;滤波器1997年，Little;生物探测由于高Q值，外界环境的;腔量子电动力学自1916年爱;谢谢！
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