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基于正弦扫频干涉的距离与振动测量方法研究
一、引言
在现代化工业生产和科学研究中,距离与振动的测量是一个不可或缺的环节。随着科技的发展,对于测量技术的精确性和稳定性要求也越来越高。正弦扫频干涉技术以其独特的优势,如高精度、高灵敏度、非接触式等,被广泛应用于距离与振动的测量。本文旨在研究基于正弦扫频干涉的距离与振动测量方法,以提高测量的准确性和稳定性。
二、正弦扫频干涉原理
正弦扫频干涉技术是一种基于光学干涉原理的测量技术。其基本原理是通过正弦扫频激光器产生频率随时间变化的光波,当光波遇到被测物体表面时,发生反射并形成干涉现象。通过测量干涉信号的相位变化,可以推算出被测物体的距离或振动信息。
三
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