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半导体设备研发技术路线选择:2025年产业链布局研究报告
一、半导体设备研发技术路线选择:2025年产业链布局研究报告
1.1技术发展趋势
1.1.1高性能、高精度、高可靠性
1.1.2智能化、自动化
1.1.3绿色环保
1.2产业链布局
1.2.1提升本土设备制造能力
1.2.2加强产业链上下游协同创新
1.2.3拓展国际合作
1.3政策环境
1.3.1加大投入
1.3.2完善知识产权保护
1.3.3优化产业政策
1.4人才培养与引进
1.4.1加强人才培养
1.4.2引进国外高端人才
1.4.3加强产学研合作
二、半导体设备关键技术研发现状与挑战
2.1关
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