CN109145354B 关键参数识别、工艺模型校准和可变性分析的系统和方法.docxVIP

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN109145354B(45)授权公告日2025.02.18

(21)申请号201810629679.9

(22)申请日2018.06.19

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN109145354A

(43)申请公布日2019.01.04

(30)优先权数据

62/521,5062017.06.18US62/631,0222018.02.15US

(73)专利权人科文托尔公司

地址美国北卡罗来纳州

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