磁控溅射法制备铌镁酸铋薄膜及其性能的多维度探究.docx

磁控溅射法制备铌镁酸铋薄膜及其性能的多维度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，电子器件正朝着高性能、微型化和集成化的方向迅猛迈进，这一趋势对材料的性能提出了极为严苛的要求。高性能的材料不仅能够提升电子器件的运行速度和稳定性，还能有效降低其功耗和尺寸，从而满足现代社会对电子设备便携性和多功能性的追求。例如，在智能手机领域，随着用户对手机拍照、游戏、5G通信等功能需求的不断提高，手机内部的芯片、传感器等电子器件需要具备更高的性能和更小的尺寸，这就依赖于高性能材料的支持。

在众多材料中，铌镁酸铋（BMN）薄膜因其独特的物理性质，在微波调谐器件、多层电容器和集成设备等领