碳碳复合材料应用单晶炉热场.pptxVIP

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2025-07-12 发布于四川
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碳碳复合材料应用单晶炉热场.pptx

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培训对象：硅单晶制取工培训讲师;01热场的结构示意图；各部件介;热场的优劣对单晶硅的质量有很大;直拉单晶炉的热系统，也就是所谓;热场示意图;加热器1加热器是热场中很重要的;加热器一般情况下，加热器是高纯;石墨电极石墨电极的作用，一是平;石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘石;石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘坩;保温罩保温罩分为上保温罩、中保;保温罩排气的方式有上排气和下排;保温盖、导流筒保温盖由保温上盖;压环压环，由几截弧形环构成的一;安装热场前，尤其是新热场，应仔;二、热场的安装与煅烧安装电极→;二、热场的安装与煅烧对中顺序在;二、热场的安装与煅烧加热器与石;二、热场的安装与煅烧保温罩和加;煅烧功率，不同的热场不一样，一;1热场的概念2热场也称温度场。;温度梯度的概念01为了描述热场;三、热场的温度梯度如下图所示，;显然两点间的温度差越大，则;静态热场的温度分布下图为静态热;三、热场的温度梯度然后沿着轴线;01单晶硅生长时，热场中存在固;三、热场的温度梯度晶体生长时，;三、热场的温度梯度晶体生长时，;三、热场的温度梯度热场的径向温;三、热场的温度梯度在晶体生长过;单晶硅最初等直径生长时，生长界;总之，合理的热场的温度分布需要;Thanks！