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半导体设备研发技术路线前瞻:2025年行业发展趋势与市场分析范文参考
一、半导体设备研发技术路线前瞻
1.1产业背景
1.2技术发展趋势
1.2.1集成化趋势
1.2.2智能化趋势
1.2.3绿色化趋势
1.2.4国产化趋势
1.3市场分析
1.3.1市场规模
1.3.2市场格局
1.3.3市场竞争
1.3.4政策支持
二、半导体设备研发技术关键领域分析
2.1光刻技术
2.1.1极紫外(EUV)光刻技术
2.1.2传统光刻技术改进
2.2刻蚀技术
2.2.1干法刻蚀技术
2.2.2湿法刻蚀技术
2.3沉积技术
2.3.1化学气相沉积(CVD)技术
2.3
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