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在半导体、芯片等电子工业领域,洁净室是保障产品良率的核心防线。而吹淋室与气闸室作为洁净室的“门户”,其设计与配置直接影响生产环境的稳定性。本文结合行业标准与前沿案例,深度解析这两大关键设施的技术细节与应用策略,同时融入智能化、节能化等行业趋势,为读者呈现电子工业洁净室设计的全景视图。
一、吹淋室与气闸室的核心作用及布置策略
(一)人员净化流程中的“双重保险”
???吹淋室是人员进入洁净区的第一道屏障,通过高速洁净气流(≥25m/s)吹除人体表面尘埃粒子,除尘效率可达99%以上。其布置需遵循“紧邻更衣室”原则,例如某半导体工厂将吹淋室与洁净工作服更衣室串联设计,形成“换鞋→更
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