激光微细加工技术：原理、应用与未来展望.docx

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2025-07-19 发布于上海
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激光微细加工技术：原理、应用与未来展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业不断追求高精度、高效率与高灵活性的发展趋势下，激光微细加工技术作为一种前沿的精密加工手段，正逐渐成为推动各领域技术革新与产业升级的关键力量。自20世纪60年代第一台激光器问世以来，激光技术凭借其独特的高能量密度、高单色性、高方向性和高相干性等特性，在材料加工领域展现出巨大的潜力。激光微细加工技术利用聚焦后的激光束，使材料在极微小的区域内发生物理或化学变化，从而实现对材料的精确去除、成型或改性，加工精度可达微米甚至纳米级别。

从半导体制造到生物医学工程，从航空航天到光学通信，激光微细加工技术已广泛渗透