基于发射光谱诊断的MEVVA离子源真空电弧金属等离子体特性研究.docx

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2025-07-17 发布于上海
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基于发射光谱诊断的MEVVA离子源真空电弧金属等离子体特性研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学与工程领域，对材料表面性能的优化一直是研究的重点方向之一。材料的表面性能在很大程度上决定了其在实际应用中的表现，如耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性以及与其他材料的结合性能等。MEVVA（MetalVaporVacuumArc）离子源作为一种能够产生高能量、高通量金属离子束的设备，在材料表面改性、薄膜沉积等方面展现出了独特的优势，为材料性能的提升提供了新的途径，因而受到了广泛的关注与研究。

MEVVA离子源的工作原理基于金属蒸汽真空弧放电技术，在高真空环境下，通过阴极和阳极之间的弧放电，