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面向2025年:半导体设备研发技术路线选择与产业生态构建参考模板
一、面向2025年:半导体设备研发技术路线选择与产业生态构建
1.1技术背景
1.2技术路线选择
1.2.1集成电路制造设备
1.2.1.1光刻设备
1.2.1.2刻蚀设备
1.2.1.3沉积设备
1.2.2半导体封装设备
1.2.2.1封装测试设备
1.2.2.2芯片键合设备
1.2.2.3引线框架设备
1.3产业生态构建
1.3.1政策支持
1.3.2产业链协同
1.3.3人才培养
1.3.4国际合作
二、半导体设备研发技术路线的具体实施策略
2.1技术研发与创新
2.1.1基础研究投入
2
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