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半导体设备研发技术路线2025:智能化与自动化应用前景参考模板
一、半导体设备研发技术路线2025:智能化与自动化应用前景
1.1智能化设备研发
1.1.1智能化检测技术
1.1.2智能化工艺控制
1.1.3智能化故障诊断与维护
1.2自动化设备研发
1.2.1自动化生产流程
1.2.2自动化物流与仓储
1.2.3自动化测试与检验
1.3智能化与自动化技术的融合
1.3.1智能化与自动化协同
1.3.2智能化与自动化协同创新
1.3.3智能化与自动化协同应用
二、半导体设备智能化与自动化技术发展趋势
2.1智能化检测技术发展趋势
2.2智能化工艺控制技术发展趋势
2
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