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激光功率高(1kw/m);电光效率高(20%);光束质量较好;3)纵向快流CO2激光器第63页,共91页,星期日,2025年,2月5日电光效率高;功率输出高(数千瓦/米);光束质量较差;4)横向快流CO2激光器常用于激光热处理:激光淬火,表面熔覆等第64页,共91页,星期日,2025年,2月5日1.2.3非金属材料对激光的吸收一般,非金属材料对激光低反射,高吸收;而非金属材料熔点较低,导热性差,有利于激光加工1.2.3.1绝缘体材料对激光的吸收——与波长有很大的关系;如石英SiO2,硅Si是常用激光材;又如玻璃.有机玻璃对YAG激光透明而对CO2激光是吸收的。第31页,共91页,星期日,2025年,2月5日1.2.3.2半导体材料对激光的吸收1)半导体材料介于导体与绝缘体之间,载流子(电子与空穴)的能级扩展为能带。2)影响激光与半导体相互作用的因素有:激光波长功率等参数;半导体的晶体结构.导电性能等。且吸收率随温升增加很快。半导体的激光破坏阈值较低。 有些半导体对可见光不透明,而对红外光相对透明,可作CO2激光光学材料:如硅Si,锗Ge第32页,共91页,星期日,2025年,2月5日激光窗口和透镜材料:1)YAG激光窗口和透镜材料:石英,光学玻璃2)CO2激光窗口和透镜材料:ZnSe,Si,Ge,GaAs,CdTe等3)紫外激光窗口和透镜材料:紫外石英等1)对该波长激光的光学吸收率小选取激光窗口和透镜的要求:2)热导率和热稳定性高3)硬度和光洁度高4)化学稳定性高5)表面光学镀膜层性能高1.2.3.3激光光学材料——谐振腔镜.聚焦系统的光学元件等;对于不同波长的激光,应选用不同的激光光学材料。要考查材料的反射率;吸收率;破坏阈值;热传导率等第33页,共91页,星期日,2025年,2月5日表面镀膜层:膜层材料要吸收率小,反射率稳定,激光破坏阈值高金属反射膜:金,银(+介质膜)多层介质反射膜:硬膜:TiO2,ZrO2,SiO2,Al2O3等;熔点高,硬度大,软膜:MgF2,NaF,ZnS,ZnSe,ThF4等;特别要注意所有表面膜层的清洁维护第34页,共91页,星期日,2025年,2月5日1.2.4光致等离子体 物质有固态.液态和气态,这三态称为凝聚态。此外还有第四态,即部分或完全电离的气体,其中自由电子和离子所带的正.负电荷总合相等,通称为等离子体。它表现出大量带电粒子的集体效应。在激光照射(104-105W/cm2)下,材料表面汽化并离解成等离子体。它强烈地吸收激光并辐射紫外光,传递能量给被加工材料;但当激光强度很高(106-107W/cm2),等离子体迅速膨涨并逆光照方向传播,将材料屏蔽,激光不能进入材料。当激光强度更高(107W/cm2),则材料完全被屏蔽;不利于加工。可加吹Ar,N2,He等气体来解决。 当激光强度再高(109-1010W/cm2),足够热的等离子体对激光又透明了,激光能量又可传到材料上,又产生等离子体;出现周期性。等离子体对激光的吸收与电子密度.蒸汽密度.激光功率密度.作用时间.与激光波长的平方成正比。YAG激光波长较短,加工时等离子体的影响较小。第35页,共91页,星期日,2025年,2月5日激光辐射的危害:激光加工使用大功率.大能量的激光束,对人眼.皮肤可能造成严重的损伤;例如:仅仅几毫瓦的氦氖激光束直接射入人眼,聚焦到视网膜上的辐照度和辐照量可明显大于太阳光照射的结果。1.2.5激光防护其它危害:激光加工系统中往往使用高电压.大电流,可能造成触电事故;激光加工过程中产生的有害烟雾;电离辐射;闪光灯的强光辐射及等离子放电管的紫外辐射;激光危害分类:1类——无危险; 2类——低危险; 3A类——低危险中功率;3B类——中危险中功率; 4类——高危险高功率;第36页,共91页,星期日,2025年,2月5日(1)国际激光安全防护标准国际电工委员会(IEC)激光设备技术委员会(TC-76)激光辐射安全工作组早在70年代就开始商议激光安全防护的标准;国际电工委员会1984年正式发布了国际标准IEC825(1984)《激光产品的辐射安全.设备分类.要求和用户指南》;TC-76技术委员会于1986年正式发布了国际标准IEC820(1986)《激光设备和设施的电气安全》。现在,中.德.法.美.英.日等国都引用此国际标准。国际电工委员会1993年9月发布了IEC825-2(1993)《国际标准激光产品安全第二部分
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