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大尺寸二维氧化镓制备及光电应用研究

一、引言

随着科技的飞速发展，二维材料因其独特的物理和化学性质在众多领域中展现出巨大的应用潜力。其中，大尺寸二维氧化镓（Ga2O3）作为一种重要的宽禁带半导体材料，具有高透明度、高电子迁移率以及良好的化学稳定性等特点，被广泛应用于光电探测器、太阳能电池、场效应晶体管等器件中。本文将详细介绍大尺寸二维氧化镓的制备方法、性能特点及其在光电领域的应用研究。

二、大尺寸二维氧化镓的制备方法

目前，制备大尺寸二维氧化镓的方法主要有化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法等。本文将重点介绍化学气相沉积法（CVD）的制备过程。

化学气相沉积法是一种通过在高温、高压环境