原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
2).为什么要控制shift-产生原因是外延的反应产物HCL，择优腐蚀埋层边缘，使埋层图形产生位移。-危害性：使光刻无法对准，从而影响电学特性。-关键：要知道漂移量，同时要控制各炉子相同。3).Shift的测定外延后按原耒的光刻套准，扩散后解理看图形的漂移并测试漂移的平均值。光刻时套刻版子加以修正值，然后看结果是否达到予定值。用滚槽方法直接测定。外延图形漂移的测定光刻版加修正后套刻正确用滚槽法测shift
上下片因温度不均匀造成shift不同,引起电学参数不同。上片漂移小纠偏过头下片纠偏较正确4).图形畸变Distortion
您可能关注的文档
最近下载
- 服务项目档案整理与管理方案.docx VIP
- 永川区2024-2025学年七年级上期期末数学试题.pdf VIP
- 小学一年级数学上册每课一练(全册打印版) .pdf VIP
- 永川区2024－2025（上）九年级物理试题 .pdf VIP
- 摩登家庭台词剧本第一季第一集中英双语左右对照.pdf VIP
- 2022-2023学年重庆市永川区八年级（上）期末数学试卷.doc VIP
- xxxx局文书档案整理及数字化项目实施方案（技术标 53页）.doc VIP
- 水利水电工程合理使用年限及耐久性设计规范（SL 654-2014）.pdf VIP
- 2024-2025学年重庆市永川区八年级（上）期末数学试卷（含解析）.docx VIP
- 《汽车理论》全套课件 （余志生主编 第五版）.ppt VIP
文档评论（0）