基于d33振动模式的非谐振式压电驱动器结构与性能研究.pdfVIP

摘要

压电驱动器利用压电效应，通过向压电陶瓷或压电叠堆施加特定频率和幅值的

电压信号，使其产生物理振动，进而驱动动子进行高精度的运动。在设计过程中，很

多压电驱动器受限于自身结构，无法充分发挥压电陶瓷大推力，小位移的特点，限制

了应用场合，所以在结构的研究创新方面需要进行更加深入的探索。本文主要分析内

容如下：

分析压电驱动技术原理，研究压电陶瓷材料的介电、极化特性和正逆压电效应，

以及压电方程和压电常数在材料性能分析中的作用。重点讨论叠堆压电陶瓷的结构、

工作原理、力学特性与优化策略，输出位移与层数、电压的关系，以及如何通过调整

厚度改善性能。论文还介绍了压电振子的振动模式及其对器件性能的影响，突出叠堆

压电陶瓷在能量管理与力学性能上的优势。

提出了一种基于“Z”型柔性铰链的三角形压电驱动器，设计了该驱动器的整体

结构，对“Z”型柔性铰链进行了理论分析，分析研究了沿单一方向施加电压信号的

方法及其周期性工作原理，通过有限元软件分析验证了驱动器在工作时的应力处于

安全范围。随后搭建测试平台，详细测试了不同锁紧力条件下电压、频率、负载与滑

轨速度之间的关系，确认了驱动器的合理性和可行性。

提出了一种基于三级放大柔性铰链的粘滑型直线压电驱动器，其核心设计为三

级放大柔性铰链结构，旨在解决单自由度非谐振驱动器在位移放大、推力增强及夹紧

性能上的局限性。利用柔性铰链的变形传递特性，显著提升了动子的横向推力和纵向

夹紧力，有效应对传统驱动器在高负载应用中夹紧力不足、承载力低的问题。并对关

键柔性铰链参数优化以实现最佳位移放大和力传递效果，最终确定模型尺寸。此外，

通过深入的模态分析，明确了驱动器在高频范围内的各阶振型、固有频率分布、振动

模态及能量耦合情况，以识别共振风险。

考虑到温度对压电驱动器性能的影响，着重分析了基于三级放大柔性铰链结构

的压电驱动器内部发热量来源。此类驱动器的热量主要来源于两方面：一是定子与动

子之间的摩擦接触导致的摩擦生热；二是压电陶瓷片在电场作用下发生的介电损耗

生热。针对这两项关键热源，研究构建了对应的理论模型，对摩擦生热和介电损耗生

热的产生机制、影响因素及其量化关系进行了深入探讨。对驱动器不同位置在不同接

触状态下的温度场进行了细致模拟，从而生成了详细的温度分布图。

最后搭建了测试平台，对基于三级放大柔性铰链设计的压电驱动器在不同工作

场景下的动子速度进行了实测。实验结果显示，该驱动器的驱动性能良好，有力地验

证了三级放大柔性铰链结构设计的有效性。为测量压电驱动器的实际工作中的发热

问题，搭建了温度测试平台，对驱动器在实际运行工况下的温度状况进行了详尽监测

与分析。测试结果清晰地揭示了驱动器在不同工作条件下主要部位的温度分布与演

变规律，以及温度变化对驱动器关键性能指标的具体影响。

关键词压电驱动；柔性铰链；振动模态；温度场；驱动性能

Abstract

Piezoelectricactuatorsusethepiezoelectriceffect,byapplyingaspecificfrequency

andamplitudeofthevoltagesignaltothepiezoelectricceramicorpiezoelectricstack,so

thatitproducesphysicalvibration,whichinturndrivestheactuatortocarryouthigh-

precisionlinearmotion.Inthedesignprocess,manypiezoelectricactuatorsarelimitedby

theirownstructure,cannotgivefullplaytothepiezoelectricceramiclargethrust,small

displacementcharacteristics,limitingtheapplicationoccasions,sointhestructureofthe

researchandinnovationneedstobemorein-depthexploration.The