可集成真空微纳电子器件发展与展望.pdfVIP

真空与低温第31卷

第3期

302Vacuum

and

Cryogenics2025

年

5

月

可集成真空微纳电子器件发展与展望

1

2

1

1,3

1*

韩熙隆，覃奀垚，章灿然，陶晖，王琦龙

（1.

东南大学

电子科学与工程学院

，南京211102；

2.

昆山国力电子科技股份有限公司，江苏昆山215300；3.

南京三乐集团有限公司，南京211800）

摘要：真空微纳电子器件（VMNEDs）凭借其高速运行、耐高温、抗辐射及极端环境适应性等独特优势，已成为

极端环境电子学领域的研究热点。本文系统综述了真空微纳电子器件的发展历程、理论基础、技术进展及未来

前景，重点探讨其作为传统真空管与固态器件桥梁作用的潜力。将VMNEDs与微机电系统（MEMS）和光子电路

集成，有望推动航空航天、能源与量子技术领域的多功能高可靠性系统发展。结合理论见解与实验成果，提出了

面向极端环境的新一代电子器件的技术路线图。

关键词：真空微纳电子器件；场发射；纳米沟道；弹道输运；真空电子学

中图分类号：TB71文献标志码：A

文章编号：1006−7086（2025）03−0302−13

DOI：10.12446/j.issn.1006-7086.2025.03.003

DevelopmentandProspectsofScalableVacuumMicro-nanoscaleElectronicDevices

1211,31*

HANXilong，QINEnyao，ZHANGCanran，TAOHui，WANGQilong

（1.SchoolofElectronicScienceandTechnology，SoutheastUniversity，Nanjing211102，China；

2.KunshanGLVACElectronicTechnologyCo.，Ltd.，Kunshan215300，Jiangsu，China；

3.NanjingSanleGroupCo.，Ltd.，Nanjing211800，China）

Abstract：Vacuum

micro-nanoscale

electronic

devices

（VMNEDs），a

class

of

emerging

devices

combining

vacuum

electronics

with

nanote